廣州潽拓光電科技有限公司——愛(ài)發(fā)科分子泵UTM-500維修愛(ài)發(fā)科真空泵的保養(yǎng)與維修
凝結(jié)層對(duì)冷凝泵抽速的影響:冷凝泵在工作一段時(shí)間以后,低溫表面上將凝結(jié)一定厚度的固態(tài)氣體層。對(duì)冷凝泵的抽速有一定影響。其影響主要取決于冷凝層的性質(zhì),也就是取決于冷凝層的結(jié)構(gòu)和類(lèi)型。冷凝層的導(dǎo)熱率是冷凝層的類(lèi)型和結(jié)構(gòu)的復(fù)雜函數(shù)。如果沉積速率低,冷凝層可以有一個(gè)玻璃狀外表,凝結(jié)層熱傳導(dǎo)好,對(duì)抽速幾乎無(wú)影響;如果沉積速率高,冷凝層出現(xiàn)類(lèi)似雪花狀結(jié)構(gòu),熱傳導(dǎo)不好,會(huì)降低抽速,但對(duì)捕集非凝結(jié)性氣體是有利的。
在真空泵機(jī)組運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)熱的時(shí)候,需要給分離器加一點(diǎn)冷水,以便降低水環(huán)真空泵的溫度,讓水環(huán)泵達(dá)到目前所適應(yīng)的溫度,讓機(jī)器能正常的工作,如果在工作期間有開(kāi)水溢出,這是可要注意了,要不斷的添加涼水,來(lái)補(bǔ)充溢出的熱水,達(dá)到降溫的效果。
真空泵機(jī)組要想從根本上解決溫度過(guò)高的現(xiàn)象,就要找出導(dǎo)致高溫的原因,在使用過(guò)程中不要讓它長(zhǎng)時(shí)間工作,這樣會(huì)導(dǎo)致溫度升高,這樣該產(chǎn)品的使用壽命才會(huì)比較久。
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分子泵使用中,可能出現(xiàn)的故障,以下是故障原因及真空泵維修方法:
1、分子泵為何會(huì)發(fā)生半邊熱,半邊冷的現(xiàn)象?
原因:附近有光照或其他熱源
解決方法:避免光照或熱源
2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑,請(qǐng)問(wèn)油為什么發(fā)黑?或者多長(zhǎng)時(shí)間油才會(huì)變黑?
原因:冷卻不良,負(fù)載太大
解決方法:檢查冷卻系統(tǒng),檢查真空系統(tǒng)
ULVAC干式真空泵型號(hào)常見(jiàn)產(chǎn)品型號(hào):
ULVACNRL180A干式真空泵
ULVACNRL90A干式真空泵
ULVACNRL60A干式真空泵
ULVACYM-RL-301A干式機(jī)組
ULVACYM-RL-302A干式機(jī)組
ULVACYM-RL-601A干式機(jī)組
ULVACYM-RL-602A干式機(jī)組
ULVACYM-RL-1201A干式機(jī)組
ULVACYM-RL-1202A干式機(jī)組
泵的傳動(dòng)方式
真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過(guò)一對(duì)齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種:其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng),這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小,則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變,故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中均勻。1x10-2torr帶fomblin1x10-2mbar/7。
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保養(yǎng)
1、向軸承體內(nèi)加入軸承潤(rùn)滑機(jī)油,觀察油位應(yīng)在油標(biāo)的中心線處,潤(rùn)滑油應(yīng)及時(shí)更換或補(bǔ)充。
2、檢查真空泵管路及結(jié)合處有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵,試看真空泵是否靈活。
3、重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運(yùn)行,一般須空運(yùn)轉(zhuǎn)2小時(shí)并換油二次,因清洗時(shí)在真空泵中會(huì)留有一定量易揮發(fā)物,待運(yùn)轉(zhuǎn)正常后,真空泵,再投入正常工作。
4、開(kāi)動(dòng)電機(jī),當(dāng)真空泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)后,打開(kāi)出口壓力表和進(jìn)口真空泵,視其顯示出適當(dāng)壓力后,逐漸打開(kāi)閘閥,同時(shí)檢查電機(jī)負(fù)荷情況。廣州真空泵維修服務(wù)公司
5、盡量控制真空泵的流量和揚(yáng)程在標(biāo)牌上注明的范圍內(nèi),以保證真空泵在點(diǎn)運(yùn)轉(zhuǎn),才能獲得節(jié)能效果
真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,真空泵機(jī)組維修,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱(chēng)陰極濺射離子泵)對(duì)ya有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。
油式旋片真空泵使用
和所有轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備一樣,油式旋片真空泵開(kāi)機(jī)前需要在電機(jī)風(fēng)葉處手動(dòng)盤(pán)車(chē),檢查泵內(nèi)是否有異物卡住。之后加相應(yīng)型號(hào)真空泵油到指ding油位且在使用一周內(nèi)或工作100 h 換油,因?yàn)樾屡浼赡軙?huì)產(chǎn)生雜質(zhì)影響抽真空效果。禁止在泵進(jìn)口放有容易被吸入泵內(nèi)的東西,泵出口如有手動(dòng)閥門(mén)一定要處于開(kāi)啟狀態(tài)。然后點(diǎn)動(dòng),檢查轉(zhuǎn)向是否正確再繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。進(jìn)口管線盡可能短易于保持密封性,以免泄漏減少真空度。
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